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在計量領(lǐng)域中,，激光干涉儀可作為長度基準以及設(shè)備校準工具,，廣泛應(yīng)用于數(shù)控機床、激光打標/切割,、三坐標,、影像儀、精密測量,、自動化,、機器人、3D打印等領(lǐng)域,。
中圖儀器SJ6000激光位移干涉測量儀集光,、機、電,、計算機等技術(shù)于一體,，產(chǎn)品采用進口高性能氦氖激光器，采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),，可實現(xiàn)高精度,、抗擾力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出,；采用高速干涉信號采集,、調(diào)理及細分技術(shù)，可實現(xiàn)高4m/s的測量速度,，以及納米級的分辨率,；采用高精度環(huán)境補償模塊，可實現(xiàn)激光波長和材料的自動補償,。具有測量精度高,、測量范圍大、測量速度快,、高測速下分辨率高等優(yōu)點,。
產(chǎn)品配置
SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件，可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件,。主要鏡組如下圖所列,，依次為線性鏡組、角度鏡組,、直線度鏡組,、垂直度鏡組、平面度鏡組,、自動精密轉(zhuǎn)臺,。
主要鏡組圖
其中,，線性鏡組為標配，由線性干涉鏡,、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成,。可滿足線性位移設(shè)備的定位精度,、重復(fù)定位精度,、反向間隙的測量與分析，以及反向間隙修正和螺距補償,。
SJ6000激光位移干涉測量儀結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,，可實現(xiàn)線性測長、角度,、直線度,、垂直度、平行度,、平面度等幾何參量的高精度測量,。在SJ6000激光干涉儀動態(tài)測量軟件配合下，可實現(xiàn)線性位移,、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測,，以及進行位移、速度,、加速度,、振幅與頻率的動態(tài)分析，如振動分析,、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析,、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。
傳感器線性精度測量
可調(diào)轉(zhuǎn)向鏡應(yīng)用實例斜床的傾斜軸測量
技術(shù)規(guī)格
| 穩(wěn)頻精度 | 0.05ppm |
| 動態(tài)采集頻率 | 50 kHz |
| 預(yù)熱時間 | ≤ 6分鐘 |
| 工作溫度范圍 | (0~40)℃ |
| 存儲溫度范圍 | (-20~70)℃ |
| 環(huán)境濕度 | (0~95)%RH |
| 線性測量距離 | (0~80)m (無需遠距離線性附件) |
| 線性測量精度 | 0.5ppm (0~40)℃ |
| 角度軸向量程 | (0~15)m |
| 角度測量精度 | ±(0.02%R+0.1+0.024M)″ |
| 平面度軸向量程 | (0~15)m |
| 平面度測量精度 | ±(0.2%R+0.02M2)μm (R為顯示值,，單位：μm,；M為測量距離，單位：m) |
| 直線度軸向量程 | 短距離(0.1~4.0)m;長距離(1.0~20.0)m |
| 直線度測量精度 | 短距離±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm長距離±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm |
| 垂直度軸向量程 | 短距離(0.1～3.0)m;長距離(1.0～15.0)m |
| 垂直度測量精度 | 短距離±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m;長距離±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m |
注意事項：
平面度測量配置需求：平面度鏡組＋角度鏡組
平行度測量配置需求：依據(jù)軸向量程范圍,，選擇相應(yīng)直線度鏡組即可
短垂直度測量(0.1~3.0)m配置需求：短直線度鏡組＋垂直度鏡組
長垂直度測量(1.0~20.0)m配置需求：長直線度鏡組＋垂直度鏡組
直線度附件：主要應(yīng)用于Z軸的直線度測量和垂直度測量
